Desarrollo de un reactor epitaxial de alta capacidad de producción para la fabricación de células solares
Título de la tesis:
Desarrollo de un reactor epitaxial de alta capacidad de producción para la fabricación de células solares
Autor/es:
Rodríguez San Segundo, Hugo-José - Luque López, Antonio - Tobías Galicia, Ignacio
Tipo de documento:
Tesis (Doctoral)
Universidad:
E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento:
Electrónica Física
Idioma:
Castellano
Palabras clave:
QUIMICA; CIENCIAS TECNOLOGICAS; FISICA; ENERGIA SOLAR
Fecha de la defensa:
Febrero 2007-01-01
Notas:
Tesis dirigida por: Luque López, Antonio
Resumen: Esta Tesis Doctoral, basada en una propuesta anterior, se ha centrado en el diseño, construcción, puesta en marcha, y primeras pruebas experimentales de un reactor epitaxial de alta capacidad de producción, entendiendo alta capacidad como número de obleas por proceso, o por unidad de tiempo. La alta capacidad se consigue mediante susceptores verticales, paralelos y densamente apilados, entre los cuales fluye el gas. Estos reactores no existen comercialmente, y son necesarios si se desea que la tecnología de capa delgada de silicio, con un potencial intrínseco enorme de ahorro de costes, sea vi...
Valoración:
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